iMOXS-REM ist eine spezielle Ausführung von iMOXS-MFR für den Anbau an ein Rasterelektronen-mikroskop (REM). Mit iMOXS-REM ist es möglich, unter Verwendung des üblicherweise an einem REM vorhandenen energiedispersiven Röntgenspektrometers (EDX) Röntgenfluoreszenzspektren zu messen und somit die speziellen Vorteile der Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) gegenüber der Elektronenstrahl-mikroanalyse (ESMA) auszunutzen. iMOXS-REM ist mit einem Flansch zum Anbau an das REM ausgestattet, der eine Feinjustagevorrichtung besitzt. Damit kann die Position der fokussierten Röntgenstrahlung auf einer Probenoberfläche in das Zentrum der vom Elektronenstrahl des REM abgerasterten Fläche gebracht werden.
Im iMOXS-REM werden spezielle Polykapillaroptiken eingesetzt. Die Fokallänge (Arbeitsabstand) liegt im Bereich von 15 bis 20 mm und beeinträchtigt nicht die Beobachtung einer Probe im REM. Der Fokusdurchmesser liegt bei 50 µm FWHM.
